进口气体质量流量计

进口气体质量流量计AEORHC 模拟橡胶密封质量流量控制器（MFC）参数：

规格

4800 系列

Full Scale Range (N2 Eqv)

单气体2-5000sccm

Control Valve Type 阀门类型

常闭式螺线管

Fitting 接头

1/4"VCR兼容 or 1/4"Swagelok兼容

Seals 密封

橡胶 Viton/FFKM/金属密封

Response Time 响应时间

到达设定点±2% 所需时间≤1Sec

Accuracy 精度

≤满量程1%

Linearity 线性度

≤ 满量程的±1%

Repeatability 重复性

≤ 满量程的±0.5%

Differential Pressure 压差

7 - 40psi

10 - 40psi

Leak lntegrity 漏率

Max：1x10-7Pa.m3/sec (He)

Control Range 控制范围

满量程的5-100%

Max Operating Pressure 高操作压力

70psi

Proof Pressure 承受压力

Z大值150psi

Communication Type 通讯模式

模拟0-5V/4-20mA

Input Power

输入功率

+15VDC ±2% at 25mA

-15VDC ±2% at 180mA

Command Signal 控制信号

模拟信号0-5 VDC

Output Signal 输出模拟信号

模拟信号0-5 VDC

Power Consumption 功耗

3.1W

Temperature Range 温度范围

5-45 Deg C

Materials 材料

316LSS，PTFE

Weight 重量

0.8kg

进口气体质量流量计的特点：

1、结构紧凑。

2、高精度。

3、稳定性好。

4、可测量腐蚀性气体。

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